基于CAD和CAM的AFM和STM机电装置的故障诊断和设计研究

摘要: 通过CAD和CAM的实体建模技术, 并对SPM的工作情况进行仿真研究, 得到了SPM的失效原因。使用CAM
技术对SPM进行设计研究, 提出了一种针对SPM的新型偏心升降装置, 使得SPM的测试高度大大增强; 并设计了过载保
护装置, 解决了SPM测试较高样品时的失效问题。
关键词: AFM STM SPM CAD CAM 故障诊断 设计